X熒光光譜儀中的濾光片由幾片金屬片組成。一般安裝在X光管和試樣之間，主要是利用濾光片的吸收特性來減少X光管輻射的靶物質(zhì)特征X射線、雜質(zhì)線和背景信號(hào)。

濾光片的材質(zhì)常見的有Cu、Ni、Al、Zr等，不同的元素可根據(jù)實(shí)際選擇是否使用濾光片，或者使用不同材質(zhì)和厚度的濾光片。使用濾光片會(huì)降低X熒光的強(qiáng)度，一般在無明顯譜線干擾的情況下，優(yōu)先選擇不加濾光片。

以常見帶Rh靶的X光管為例，在對(duì)樣品測試時(shí)，不使用濾光片條件下，樣品中CdKα與靶材的RhKβ2線重疊，即樣品中Cd的測試受到靶材中Rh元素的干擾，易導(dǎo)致實(shí)際結(jié)果出現(xiàn)誤差；

當(dāng)使用0.3mm黃銅濾光片后，可以明顯觀察到Rh靶的特征譜線被消除，樣品中CdKα能被分辨出來，可正常檢測。

如圖中所示，濾光片會(huì)降低背景噪音，同時(shí)也會(huì)降低譜峰的強(qiáng)度，但是峰背比得到較大的提升。